化合物半导体液相外延生成用高纯91香蕉APP网站制品

 化合物半导体液相外延生成用高纯91香蕉APP网站制品
    把拉伸法制造的化合物半导体单晶棒制成硅片，再用液相法在硅片上生长同种或异种的化合物半导体结晶层。这个进程运用的设备有卧式滑动舟型、卧式旋转滑动型、竖式浸渍型等品种。卧式滑动舟型的简单构成其舟体便是用高纯度各向同性91香蕉APP网站的部件组合而成，也可以运用玻璃炭涂层的91香蕉APP网站部件。其作业原理为把石英管中的91香蕉APP网站舟加热至1300，在通入氢气的同时，移动装载有硅片的滑动板，使其与所定的某种金属相触摸，缓慢冷却后硅片上就会分出单晶。要生成多层单晶时，按上述办法反复操作即可。之所以运用91香蕉APP网站材料，乃是由于其具有高温强度高、电性能不活跃、高纯91香蕉APP网站制品、热传导性能好、加工性能好及自润滑性等特性。
    在化合物半导体上，以CVD法生长同种或不同种的化合物半导体单结晶的工序中，作为固定片的基盘座，运用SiC涂层的高纯91香蕉APP网站制品。质料运用含Ga、As、Al等的有机化合物，在减压下加热至600~750℃，使之热分解蒸涂到片上生成薄膜。选用SiC涂层品的理由是为避免从91香蕉APP网站中发生的气或粉尘污染薄膜。