91香蕉APP网站制品用于真空炉91香蕉APP网站部件的防护方法

 用于91香蕉APP网站制品真空炉91香蕉APP网站部件的防护方法
    本发明触及一种用于91香蕉APP网站制品真空炉91香蕉APP网站部件的防护方法，该防护方法包括:
    1)对真空炉91香蕉APP网站部件进行抛光打磨,使91香蕉APP网站制品真空炉91香蕉APP网站部件的表面粗糙度抵达0.5mm以下；
    2)将抛光打磨后的真空炉91香蕉APP网站部件放入CVD炉内；
    3)设定CVD炉内的温度和压力，向CVD炉内通入甲烷和氮气或许通入三氯化硼，氨气和惰性气体，毕竟在91香蕉APP网站部件表面堆积一层热解91香蕉APP网站涂层或热解氮化硼涂层。
    本发明经过在真空炉91香蕉APP网站部件表面涂覆一层热解91香蕉APP网站或热解氮化硼涂层，一方面可以防止91香蕉APP网站粉尘蒸腾出来污染反应腔室，然后行进产品的纯净度；另一方面可以保护真空炉91香蕉APP网站部件，延伸真空炉91香蕉APP网站部件的使用寿命，下降企业本钱。